名称：场发射扫描电子显微镜 
型号：Regulus8230 
主要技术指标： 
放大倍率：20-200万 
加速电压：0.5-30kV 
着陆电压：0.01-20kV 
工作距离：1.5-40mm 
主要功能： 
形貌扫描、能谱测试