微观形貌及缺陷测试
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高分辨原子力显微镜


名称：高分辨原子力显微镜 
型号：/ 
主要技术指标： 
X,Y轴闭环噪音<60pm（Adev,1Hz到1KHz带宽） 
系统高度噪音(探针接触样品表面)<15pm（Adev,1Hz到1KHz带宽） 
系统光学噪音(探针未接触样品表面)<10pm 
扫描速度：轻敲模式下1微米扫描时，保证正常成像的前提时，扫描速线度不低于40Hz 
光电检测器带宽：不低于7MHz 
主要用途： 
室温大气环境下，纳米材料表面高分辨晶格图像扫描；与红外激光器联合，构建扫描近场光学显微系统



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上海碳纤维复合材料创新研究院

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